等离子体增强CVD管炉

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  1200℃三温区三通道混气CVD系统

  关键字：三温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，它是由管式炉，三路浮子流量供气系统组成。

  型号：SL-CVD-80
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  微型PECVD系统

  关键字：微型PECVD系统

  型号：
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  中小式（12片，6英寸基片）PECVD系统

  关键字：平行板电容式（CCP）

  型号：PECVD-8-16